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明视场观察及红外激光加工物镜
明视场观察及红外激光加工物镜
该系列物镜是一个可用于激光加工（YAG激光基频的飞秒激光）的无限远校正的，平场，复消色差物镜。该物镜在优化激光加工性能的同时，同为可见光波段减少像差进行设计，使得通过物镜进行激光加工的同时进行加工表面的..
产品详情
该系列物镜是一个可用于激光加工（YAG激光基频的飞秒激光）的无限远校正的，平场，复消色差物镜。该物镜在优化激光加工性能的同时，同为可见光波段减少像差进行设计，使得通过物镜进行激光加工的同时进行加工表面的同轴观察。凭借其长达10mm工作距离和平场像差校正，可以获得全视场范围的均匀加工线宽和完美自然的图像。可更换的防护玻璃有助于保护物镜免受激光加工过程中产生的碎片飞溅和散射。这些物镜均可与532nm等可见光脉冲激光配合使用。每种物镜在532nm波长下的损伤阈值为0.1J/cm2，在1064nm波长下的损伤阈值为0.2J/cm2（激光脉冲宽度为10纳秒，重复频率为20赫兹）。
技术参数
| 参数 | 10× | 20× | 50× |
|---|---|---|---|
| 型号 | OBJ‑10X0.28‑NIR‑WD31 | OBJ‑20X0.4‑NIR‑WD20 | OBJ‑50X0.67‑NIR‑WD10 |
| 光学系统 | 无限远校正（Infinity‑Corrected） | ||
| 色差校正 | 复消色差（Apochromatic） | ||
| 工作波长 | 430~660nm & 1064nm | ||
| 匹配管镜焦距 | 200mm | ||
| 物镜视场数 | >25mm | ||
| 有效焦距 | 20mm | 10mm | 4mm |
| 物方NA | 0.30 | 0.45 | 0.67 |
| 工作距离 | 31mm | 20mm | 10mm |
| 物方分辨率 | 0.92 μm | 0.60 μm | 0.41 μm |
| 景深 | 3.1 μm | 1.4 μm | 0.61 μm |
| 齐焦距离 | 95mm | ||
| 保护玻璃 | 1.6mm | 1.6mm | 0.7mm |
| 接口 | M26×0.706 | ||
主要特点
- 无限远校正 / 平场 / 复消色差三合一设计
- 工作波长：430~660nm（可见）& 1064nm（近红外）双波段
- 激光加工与可见光同轴观察同步进行
- 超长工作距离（最长达 31mm），操作便利
- 可更换防护玻璃，保护物镜免受碎屑损伤
- 高损伤阈值：532nm @0.1 J/cm²；1064nm @0.2 J/cm²
- 标准接口 M26×0.706，兼容主流光学平台
应用领域
- YAG 激光 / 飞秒激光加工
- 532nm 可见光脉冲激光应用
- 激光加工表面同轴实时检测
- PCB 板精密加工与检测
- 晶圆切割与同步观察
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